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  1. 微机电系统(科技装置)_百度百科

  2. MEMS - Wikipedia

  3. 微机电系统 - 维基百科,自由的百科全书

  4. 微機電系統 - 維基百科,自由的百科全書

  5. Introduction to MEMS (Microelectromechanical Systems)

  6. Journal of Microelectromechanical Systems - IEEE

  7. Microelectromechanical Systems (MEMS) - IEEE Xplore

  8. M-EMS - 百度百科

  9. Microelectromechanical system (MEMS) | Britannica